列直线模组使用高性能（Parker、Yaskawa、Mitsubishi）等直线电机，集成了传感器，高性能光栅或磁栅编码器可直接实现直线运动的成套产品，方便使用。其低摩擦使用寿命长，高性能的直线位移传感器确保行走路径精确、重复性能优越。

　　直线模组目前致力于发展：超高速、高精度、长行程直线模组（单轴、双轴、大理石、龙门单双驱等）直线模组、线性模组、直线导轨滑台模组的非标定制，可根据用户需求定制各种行程及特殊要求的线性模组、直线电机模组，如需技术支持或询价请联系直线模组技术工程师。

　　FMCH/LU/R高精高速单轴直线电机模组

　　有效行程:Max1000mm

　　光栅分辨率:5um-10nm

　　重复定位精度:H±1um、L±50nm

　　运行速度:1m/s-5m/s

　　加速度:2G-5G

　　应用行业:电子、半导体、激光、检测

　　FMCLH/LU/R高速高精单轴直线电机模组

　　FML系列H/LU/R单轴直线模组

　　有效行程:Max1000mm

　　光栅分辨率:5um-10nm

　　重复定位精度:H±0.5um、L±10nm

　　运行速度:1m/s-5m/s

　　加速度:2G-5G

　　FMSH/LU高速高精单轴直线电机模组

　　有效行程:Max1000mm

　　光栅分辨率:5um-10nm

　　重复定位精度:H±0.5um、L±10nm

　　运行速度:1m/s-5m/s

　　加速度:2G-5G

　　应用行业:电子、半导体、激光、检测

　　XY轴系列直线电机模组

　　有效行程：300*180mm

　　光栅分辨率：1um

　　重复定位精度：±3um

　　X-Y行走平行度：±3um

　　运行速度：800mm/s

　　加速度：15m/s2

　　应用行业：电子、半导体行业

　　Z轴系列直线电机模组

　　Z轴需要选择合适的恒力气弹簧来配平

　　有效行程：150mm

　　光栅分辨率：1um

　　重复定位精度：±3um

　　运行速度：800mm/s

　　加速度：500mm/s2

　　应用行业：电子、半导体行

　　大理石系列直线电机模组

　　有效行程：400*200*100

　　光栅分辨率：1um

　　重复定位精度：±2um

　　运行速度：1000mm/s

　　加速度：20m/s2

　　三轴正交垂直度：±5um

　　应用行业：激光行业、汽车行业

　　龙门系列直线电机模组

　　有效行程：300*180

　　光栅分辨率：1um

　　重复定位精度：±5um

　　运行速度：1000mm/s

　　加速度：20m/s2

　　应用行业：电子行业工件装配机械手